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核孔膜判斷標準

編輯: 更新于:2016-9-11 閱讀:

          判斷核孔膜產品好壞首先要看孔形。每個孔的形狀大小是否一樣。比如下圖左,采用原子數較小的離子輻照的膜,就會產生大孔小孔。采用原子數較大的離子輻照的膜孔徑就會均勻。這好比采用不同重量的子彈去射鋼板一樣,越重的子彈打出的孔道就越好。
      一般采用的輻照離子按照原子序數由小到達排序:S、Ar、Kr、Xe。采用更重的離子效果就更好。但是相應的輻照技術的難度和成本也就越高。國內通常采用S、Ar、Kr, 國外通常采用Kr、Xe。
        除了離子種類影響孔形外,紫外敏化和蝕刻條件也影響孔形。
      紫外敏化可以改善孔形,如下圖所示。采用光學顯微鏡觀察,由于分辨率的問題,看上去很圓的孔,經過電子顯微鏡觀察,如果不經過敏化處理,可能蝕刻孔形就是橢圓形,而且有錐角(下左圖),而敏化后再蝕刻,孔就很圓,而且錐角基本看不到。這就是紫外敏化的效果。
     除了紫外敏化,蝕刻條件也可以改善孔形。下圖是不同蝕刻條件下,都未采取敏化,蝕刻得到的不同孔形,可以看出不同的蝕刻條件的采用,對核孔膜孔形也有很大的影響。因此,對蝕刻技術的掌握,對孔形的好壞也有重要的影響。

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